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簡要描述：科里奧利質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。
產品型號：廠商性質：生產廠家更新時間：2025-05-28訪 問 量：1904詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 差壓式 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
科里奧利質量流量控制器其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
在大多數(shù)流量儀表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應時間
無需預熱
四個過程變量
內置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補償
溫度補償
寬動態(tài)流量范圍
科里奧利質量流量控制器技術參數(shù)：
1 | 量程范圍 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 準確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
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