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差壓式氣體質(zhì)量流量計

簡要描述：差壓式氣體質(zhì)量流量計5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。

產(chǎn)品型號：5910DD4
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-05-28
訪問量：1771

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詳細(xì)介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	液體
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子/電池

差壓式氣體質(zhì)量流量計5910DD4用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。

其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

黑龍江差壓式氣體質(zhì)量流量計5910DD4產(chǎn)品參數(shù)：

量程范圍	0.2～5kg/h
測控范圍	流量計量程比100:1 控制器量程比50：1
準(zhǔn)確度（滿量程）	氣體：±0.5.0%F.S、液體±0.25.0%F.S
穩(wěn)定性	±0.1%F.S
重復(fù)精度	±0.05%F.S
響應(yīng)時間	<0.2s
數(shù)字量	RS232/485，MODBUS協(xié)議
模擬量	0～5V、4-20mA、1～5V
供電	±15VDC，24VDC
工作溫度	0～70℃
壓力等級	100bar
最大耐壓	3MPa/10MPa